YHJ 高精度氣浮轉(zhuǎn)臺
該產(chǎn)品具有承載大、徑向和軸向剛度高、角剛度好、高度低的特點；同時由于其隔塵設(shè)計，更加適應(yīng)生產(chǎn)加工環(huán)境。是各種高精度測量、光學(xué)測量組裝加工、芯片半導(dǎo)體測量加工、全物理仿真模擬設(shè)備等行業(yè)的極佳選擇。
主要特點
1、高精度: 氣體潤滑，超高回轉(zhuǎn)精度。
2、高響應(yīng): 低摩擦系數(shù)，極高響應(yīng)速度。
3、無污染：無礦物油污染。
4、長壽命：無接觸無磨損，超長使用壽命。
5、個性化定制：高精度氣浮轉(zhuǎn)臺專利技術(shù)，支持個性化定制。
技術(shù)參數(shù)
|
項目 |
型號 |
|
|
標(biāo)準(zhǔn)版 |
升級版 |
|
|
工作臺尺寸 |
Φ325mm |
|
|
最大負(fù)載 |
2000N |
|
|
額定轉(zhuǎn)速 |
100rpm |
|
|
額定扭矩 |
19Nm |
|
|
徑向剛度 |
260N/μm |
|
|
軸向剛度 |
1200N/μm |
|
|
允許最大偏載（2000N滿載時） |
60Nm |
|
|
允許最大偏載（空載時） |
45Nm |
|
|
供氣壓力 |
0.5±0.05 Mpa |
|
|
軸向跳動誤差 |
1 μm |
0.2 μm |
|
徑向跳動誤差 |
1.5 μm |
0.5 μm |
|
定位精度 |
10 rad s |
3 rad s |
|
重復(fù)定位精度 |
4 rad s |
1.5 rad s |
您還可能對以下產(chǎn)品感興趣