YHJ 直驅(qū)式電主軸
主要特點
1、 本機器采用硅片自動旋轉(zhuǎn)研磨法的原理為：采用略大于硅片的工件轉(zhuǎn)臺，工件通過真空吸盤在工件轉(zhuǎn)臺中心，磨輪邊緣調(diào)整到工件的中心位置，工件和砂輪繞各自的軸線回轉(zhuǎn)，進行切入減薄，砂輪與工作的接觸長度、接觸面積、切入角不變，研磨力恒定、加工狀態(tài)穩(wěn)定，可以避免工件出現(xiàn)中凸和塌邊現(xiàn)象。尤其對較薄的工件表現(xiàn)較為明顯。
2、上、下研磨主軸均采用氣浮軸承結(jié)構(gòu)，定子、轉(zhuǎn)子之間由于沒有機械軸承的摩擦力，磨損程度降到了最低，從而確保精度始終保持穩(wěn)定。
3、氣浮軸承阻力較低，允許較高的速度，并能同時保持較低的振動水平。
4、氣浮主軸精確的、可重復(fù)的運動，使得表面光度達到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的，轉(zhuǎn)子所經(jīng)受的、來自外負載的作用力，在其旋轉(zhuǎn)時穩(wěn)定的分布在所有點上。這一特性與磨削時產(chǎn)生良好的表面光度息息相關(guān)。
5、底座采用鑄件加大理石，Z軸進給立柱采用大理石，提高機器整體剛性以及機器的穩(wěn)定性。
技術(shù)參數(shù)
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項目 |
型號 |
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Sp38 |
Sp50 |
Sp56 |
Sp63-C |
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電機型式 |
永磁同步 |
永磁同步 |
永磁同步 |
永磁同步 |
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額定功率 |
11.5kW |
31kW |
30kW |
30kW |
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額定電壓 |
380V |
380V |
380V |
380V |
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額定電流 |
37A |
60A |
60A |
65A |
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額定轉(zhuǎn)矩 |
18N.m |
130N.m |
84N.m |
42N.m |
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額定轉(zhuǎn)速 |
7500rpm |
2300rpm |
3000rpm |
6800rpm |
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最高轉(zhuǎn)速 |
10000rpm |
3500rpm |
4500rpm |
8000rpm |
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軸承 |
滾動軸承 |
滾動軸承 |
滾動軸承 |
滾動軸承 |
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潤 滑 |
油脂 |
油脂 |
油脂 |
油脂 |
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冷卻 |
強制水冷 |
強制水冷 |
強制水冷 |
強制水冷 |
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安裝連接方式 |
立式側(cè)面安裝 |
立式側(cè)面安裝 |
臥式帶法蘭 |
立式帶法蘭 |
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軸端接口 |
ф38（1:7.5） |
ф50 |
ф56（1:7.5） |
HSK63-C |
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端面跳動 |
≤0.002 |
≤0.002 |
≤0.002 |
≤0.002 |
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徑向跳動 |
≤0.002 |
≤0.002 |
≤0.002 |
≤0.002 |
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使用方式 |
立式/傾斜 |
立式 |
水平 |
立式/傾斜 |
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密封方式 |
氣密封 |
氣密封 |
氣密封 |
氣密封 |
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溫度監(jiān)控 |
KTY+PTC |
KTY+PTC |
KTY+PTC |
KTY+PTC |
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動平衡機等級 |
G0.4 |
G0.4 |
G0.4 |
G0.4 |
|
在線平衡裝置 |
選配 |
選配 |
選配 |
選配 |
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