13B-9L/8432C/8432E/8436B/18B/22B 高精度立式雙面研磨(拋光)機(jī)系列
典型加工零件
硅片
藍(lán)寶石
手機(jī)玻璃
設(shè)備亮點(diǎn)
● 該系列機(jī)床屬于4道行星環(huán)形拋光運(yùn)動。
● 采用內(nèi)齒圈凸輪機(jī)構(gòu)抬升方式，配有安全自鎖氣缸裝置。
● 太陽輪、下盤、上盤、齒圈通過齒輪副+減速機(jī)傳動方式驅(qū)動，變頻調(diào)速。
● 采用氣缸+電氣比例閥控制加載壓力，采用觸摸屏+PLC控制方式。
技術(shù)參數(shù)
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項(xiàng)目 |
單位 |
YH2M13B-9L |
YH2M8432C |
YH2M8432E |
YH2M8436B |
YH2M18B |
YH2M22B |
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研磨盤尺寸 （外徑x內(nèi)徑x厚度） |
mm |
φ978x φ558x45 |
φ1070x φ495x45 |
φ1070x φ495x45 |
φ1140x φ375x45 |
φ1280x φ449x50 |
φ1462x φ494x50 |
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行星輪規(guī)格 |
DP=12 Z=108 |
P=15.875 Z=64 |
P=16.842 Z=60 |
P=15.875 Z=84 |
P=21.053 Z=71 |
M=3 Z=184 |
|
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放置行星輪數(shù)量 |
n |
3≤n≤9 |
3≤n≤7 |
3≤n≤7 |
3≤n≤5 |
3≤n≤5 |
3≤n≤5 |
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加工件最大尺寸 |
mm |
φ180 (對角線) |
φ280 (對角線) |
φ280 (對角線) |
φ360 (對角線) |
φ420 (對角線) |
φ480 (對角線) |
|
加工件最小厚度尺寸 |
mm |
0.4 |
0.6 |
0.3 |
|||
|
研磨件平面度 |
mm |
0.006(φ100) |
|||||
|
拋光件平面度 |
mm |
0.008(φ100) |
|||||
|
研磨件表面粗糙度 |
μm |
Ra0.15 |
0.04 |
||||
|
拋光件表面粗糙度 |
μm |
Ra0.05 |
|||||
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外形尺寸 （約：長x寬x高） |
mm |
1650x1300 x2650 |
1510x1450 x2650 |
1800x1500 x2650 |
2200x1750 x2690 |
3800x3300 x3600 |
|
|
整機(jī)重量（約） |
kg |
2600 |
3500 |
3200 |
3000 |
5000 |
11000 |
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