碳化硅
典型加工零件
加工方式
設(shè)備亮點(diǎn)
用途
本機(jī)床主要用于藍(lán)寶石、硅片、鍺片、碳化硅、氮化鎵、砷化鎵、氮化硅、陶瓷等硬脆材料的精密減薄，是適用于4～12英寸規(guī)格的精密減薄設(shè)備。
典型加工零件
藍(lán)寶石
陶瓷
主要特點(diǎn)
3.1、磨輪采用12寸國家標(biāo)準(zhǔn)金剛石專用砂輪，磨輪的粒度的選型是根據(jù)客戶對工藝的要求定制;減薄單元采用軸向進(jìn)給(In-Feed)磨削原理，兼容中300~50mm晶圓研削減薄加工。
3.2、設(shè)備具有多段磨削程序、超負(fù)載等待等功能，滿足各類工藝需求。
3.3、磨輪主軸采用高精密氣浮專用電主軸，通過變頻器受數(shù)控系統(tǒng)控制進(jìn)行調(diào)速，可以根據(jù)不同產(chǎn)品決定工藝轉(zhuǎn)速。
3.4、為了實(shí)現(xiàn)高精度、高品質(zhì)的加工，搭載了高剛性、低振動、低熱膨脹的氣浮主軸。工作臺的主軸亦同樣搭載高剛性、低振動、低熱膨脹的空氣軸承部件。
3.5、采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件，驅(qū)動方式是伺服全閉環(huán)控制系統(tǒng)驅(qū)動。
技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | YHMG7430 | |
| 加工工件 | 加工工件尺寸范圍（mm） | Φ50~Φ300 |
| 加工工件厚度范圍（mm） | 0.15~50 | |
| 軸參數(shù) | Z軸有效行程（mm） | 100（具有原點(diǎn)機(jī)能） |
| Z軸最小運(yùn)動分辨率（ mm） | 0.0001 | |
| Z軸快進(jìn)速度(mm/s) | 10 | |
| Z軸磨削進(jìn)給速率（ μm/s） | 0.1～80 | |
| 磨頭參數(shù) | 磨頭轉(zhuǎn)速（Rpm） | 50~2000無級調(diào)速 |
| 砂輪直徑（mm） | φ313（12寸） | |
| 砂輪主軸功率 | 11Kw | |
| 整機(jī) | 主機(jī)總功率（Kw） | 25Kw |
| 主機(jī)重量(Kg) | 3500 | |
| 主機(jī)尺寸(mm) | 1850×1500×2200 | |
您還可能對以下產(chǎn)品感興趣